電子顕微鏡シェアリング

会員に対する最新鋭の電子顕微鏡シェアリングサービスをレンタルリース会社との協業により行います。基礎研究、技術開発、受託分析、人材育成など様々な用途にご利用いただけます。

サービスのご提供

  • 最先端の装置を複数の企業でシェアして利用いただけます。
  • マシンタイムは企業様のものとしてご自由にお使いいただけます。
  • 会員の皆様によるノウハウや技術、応用事例の共有の場を提供いたします。
  • メーカーや大学の先生方による講習会(無償、一部有償)を提供いたします。
  • 開発技術の先行提供を行います。
  • 技術人材養成や人材の紹介を可能とします。
  • 遠隔利用にも対応します(有償)。

☞ 会員様が集まり次第、開始可能です。ご興味ございましたら、info[at]anmic.co.jp([at]は@に置き換えてください)までお気軽にお問い合わせください。

シェアリング予定装置1(予定)

3D電子顕微鏡;Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam (plasma FIB-SEM)

写真はThermo Scientific様よりご提供いただきました。

特徴

  • 広い視野を高分解能で3D観察することができます。
  • 最大2.5 µAのイオンビーム電流により高速に加工ができます。
  • Gaフリーで加工ができます。
  • 材料に応じたイオン種を選択することができます。イオン種の切り替えは高速で容易です。
  • 単色SEMにより低加速でも高分解能観察が可能です。
  • カラム内で清浄な面を出してすぐ観察できるので反応性の高い試料でも劣化なく観察することが可能です。
  • 自動加工ができるので無人運転が可能です。

仕様案

  • 新型プラズマFIB(Xe, Ar, O, Nイオンの切り替え)
  • 最高分解能SEM(0.7 nm @ 1 kV、0.5~30kV)
  • 広視野(2.3mm@WD4mm)
  • 試料サイズ 110mm
  • TEM試料作製用プローブ
  • 3D構造解析
  • EBSD
  • EDS
  • 自動加工
  • 24時間運転対応

シェアリング予定装置2(予定)

機種名:日本電子社製 JEM-ARM200F(NeoARM) (CFEG、HRP)

  • 加速電圧:200kV、80kV、60kV
  • 分解能:TEM粒子分解能0.23nm以下、STEM-HAADF分解能0.16nm以下
  • 大口径SDD-EDS検出器2本搭載
  • 高速CMOSカメラ(4K×4K)
検討中
  • 電子線トモグラフィー、EDSトモグラフィー
  • クライオトランスファーホルダー(Gatan社製ELSA)
  • EELS